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时间:2024-11-20 00:20:57编辑:阿奇

什么是磁控溅射

磁控溅射原理:用高能粒子(通常是由电场加速的正离子)轰击固体表面,固体表面的原子,分子与入射的高能粒子交换动能后从固体表面飞测出来的现象称为磁控溅射。溅射出来的原子(或原子团)具有一定的能量,它们可以重新沉积凝聚在固体基片表面上形成薄膜,称为测时镀膜、通堂是利用气体放电产生气体电离,其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶材,击出阴极靶材的原子或分子,使其飞向被镀基片的表面沉积成有色的金属导申薄膜。


磁控溅射原理

磁控溅射的基本原理是利用 Ar一O2混合气体中的等离子体在电场和交变磁场的作用下,被加速的高能粒子轰击靶材表面,能量交换后,靶材表面的原子脱离原晶格而逸出,转移到基体表面而成膜。1、磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。2、因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。3、定义:在二极溅射中增加一个平行于靶表面的封闭磁场,借助于靶表面上形成的正交电磁场,把二次电子束缚在靶表面特定区域来增强电离效率,增加离子密度和能量,从而实现高速率溅射过程。

el是什么缩写

EL是电致发光(英文electroluminescent),又可称电场发光,简称EL,是通过加在两电极的电压产生电场,被电场激发的电子碰击发光中心,而引致电子在能级间的跃迁、变化、复合导致发光的一种物理现象。补充资料:电致发光物料的例子包括掺杂了铜和银的硫化锌和蓝色钻石。目前电致发光的'研究方向主要为有机材料的应用。电致发光板是以电致发光原理工作的。电致发光板是一种发光器件,简称冷光片、EL灯、EL发光片或EL冷光片。它由背面电极层、绝缘层、发光层、透明电极层和表面保护膜组成,利用发光材料在电场作用下产生光的特性,将电能转换为光能。el还有很多种意思,如下:EL:出口许可证EL:电子图书馆EL:电法测井EL:手肘线EL:误差高度EL:照明设备El:雌酮EL:电致发光效应EL:回声损耗EL:单元层EL:环境法EL:标明对环境的影响,环境标记

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