光刻机是干什么用的

时间:2023-09-21 02:37:00编辑:阿奇

光刻机是什么?

光刻机

光刻机又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有1、2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。

位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机,形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。

生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机,分辨率通常在数微米以上。主要有德国SUSS、美国MYCRO NXQ4006、以及中国品牌。

?光刻机是干嘛用的?

光刻机用途

光刻机是芯片制造的核心设备之一,作为目前世界上最复杂的精密设备之一,其实光刻机除了能用于生产芯片之外,还有用于封装的光刻机,或者是用于LED制造领域的投影光刻机。目前,我国高端的光刻机,基本上是从荷兰ASML进口的。

光刻机作为工业制造之花,已经是真正高科技的象征,这个设备非常精密,没有他芯片几乎是制造不出来的。简单来说,光刻机把获得的单一光源,通过把电脑上的芯片逻辑‘与或非’门级电路图的影像,不断的进行聚光,最后形成一个点,聚光到硅晶圆上,对硅片进行烧录,最后在硅片上形成和电脑上的逻辑电路影像一样的图案,这个图案的每个线路最小是在5纳米左右,这个图案就是硅晶圆的逻辑电路,多个硅晶圆叠加在一起,便可以形成芯片。只有光刻机发出的光,才可以在这么小的纳米级的范围内进行任意织出自己想要的电路图。所以有人说,光刻机是芯片之母,是工业之花。

光刻机是干嘛用的

芯片是电子产品所必不可少的组件,芯片制造商要想成功地制造出芯片来,必须用到光刻机。对芯片制造商来说,光刻机就是核心的生产设备。

光刻机被称为“人类最精密复杂的机器”,制造光刻机更被比作是在微观世界里“造房子”——成像系统由几十个直径为200~300毫米的透镜组成,定位精度都是纳米级。微米级的瞬时传输控制技术,犹如两架空客以1000/小时公里同步高速运动,在瞬间对接穿针引线。

作为集成电路制造过程中最核心的设备,光刻机至关重要,芯片厂商想要提升工艺制程,没有它万万不行,中国半导体工艺为啥提升不上去,光刻机被禁售是一个主要因素。

中芯国际向荷兰ASML进口EUV光刻机意味着中国终于有能力进军7nm及以下的芯片制造工艺,换句话说,中芯国际已经有了和Intel、三星、台积电叫板的硬件实力。

当然,光刻机并非芯片制造的全部,配套的技术、人员的经验和整个生产线上的磨合也需要一定的时间。但是解决了最大的光刻机问题以后,这些对于中国人来说也只是时间的问题。

现在,国内企业将有先进的光刻机,在芯片制造方面可以大踏步的赶上世界一流水平。

但是,我们国内的光刻机水平与国际的先进水平差距还很大,要真正实现技术核心自主创新,还需要相关的设备创新再上新台阶。

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